Zweiachsiger MEMS-Beschleunigungsmesser Gemini
Die neue Produktfamilie Gemini von Silicon Sensing bietet eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit des systematischen Fehlers in einem hermetisch abgedichteten LCC-Gehäuse, das eine außergewöhnliche Widerstandsfähigkeit gegenüber Temperaturen und Feuchte sowie den vollen Umweltschutz gewährleistet.
Dieses Betriebsverhalten wird durch ein Paar von rechtwinklig zueinander angeordneten gefederten Massen erreicht, die die bewegliche Platte eines veränderlichen Kondensators bilden, der aus einer Anordnung sich überlappender Finger besteht.
Die kleinen Abmessungen von 10,4 x 6,0 x 2,2 mm und der geringe Stromverbrauch der Gemini-Baureihe vergrößern den Anwendungsbereich der Bauelemente noch weiter.
Bei einer Spannungsversorgung von 3,3 V beträgt der Stromverbrauch lediglich 3 mA, sodass das Bauelement in batteriebetriebenen Systemen verwendet werden kann, bei denen Beschleunigungsmesser dieser Qualität früher nicht eingesetzt werden konnten.
Gemini ist mit einer Reihe unterschiedlicher Dynamikbereiche erhältlich, die von ±0,85 g bis ±96 g reichen. Dadurch eröffnet sich für diese Bauelemente eine große Vielfalt von Einsatzgebieten, die von der Überwachung von Bohrlöchern über Nivelliergeräte für die Bauindustrie, die Robotik bis zu unbemannten Fahrzeugen reichen.
